Chế tạo màng mỏng ZnO, ZnO:Al bằng phương pháp phún xạ Catot và nghiên cứu cấu trúc, tính chất quang, điện của chúng

Loại tài liệu: Tài liệu số - Thesis

Tác giả: Chử Văn Thìn

Nhà Xuất Bản: ĐHSPHN

Năm Xuất Bản: 2004

Tóm tắt nội dung

Trình bày các tính chất cấu trúc, độ truyền qua, độ dẫn điện của màng mỏng ZnO và ZnO:Al, phương pháp chế tạo màng mỏng, các phương pháp nghiên cứu tính chất vật lý của các màng đó, giới thiệu cấu tạo và hoạt động của hệ chân không AVTO 306, thiết bị dùng để chế tạo màng mỏng, chế tạo màng mỏng Zn bằng phương pháp phún xạ Catot ôxy hoá nhiệt để tạo thành màng ZnO, chế tạo màng mỏng ZnO:Al với nồng độ tạp chất Al khác nhau, ôxy hoá nhiệt để tạo thành mảng ZnO:Al, nghiên cứu cấu trúc và trạng thái bề mặt của màng bằng các phương pháp nhiễu xạ tia X, hiển vi điện tử quét, xác định nồng độ Al bằng phân tích phổ tán sắc

Ngôn ngữ:Vie
Tác Giả:Chử Văn Thìn
Thông tin nhan đề:Chế tạo màng mỏng ZnO, ZnO:Al bằng phương pháp phún xạ Catot và nghiên cứu cấu trúc, tính chất quang, điện của chúng
Nhà Xuất Bản:ĐHSPHN
Loại hình:Thesis
Mô tả vật lý:54 tr
Năm Xuất Bản:2004

TÀI NGUYÊN KHÁC